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激光器降生不久科学家们就视察到了激光照射到样品而爆发等离子体的现象。1962年，Brech首次在国际光谱集会上提出了等离子体可作为一个光谱源，标记着激光诱导击穿光谱（LIBS）的降生。之后一年，Liode首次使用LIBS进行物质外貌剖析，标记着LIBS进入剖析领域。1964年， Griem出书了第一本等离子体光谱专著，书中详细的介绍了等离子体定量光谱学的理论、推导、结果，以及相关实验技术。经过10年研究，Griem又出书了关于等离子体谱线增宽的书，并在附录中给出了包括许多原子和离子光谱线的展宽和频移的盘算值，包括氢和氦的详细参数表，以及特定的电子温度和电子密度条件下其他原子和离子的相关信息，该书的宣布具有里程碑意义。

20世纪80年代初，美国科学家开始利用LIBS技术对一些质料进行元素剖析，今后，LIBS逐渐生长成为一种能够提供险些任何种类质料身分实时丈量的剖析工具。激光诱导击穿光谱（LIBS）作为一种发射光谱剖析技术，可以通过高能脉冲激光与物质作用生成等离子体，并在对辐射光谱中原子、离子或分子基的特征谱线检测剖析之后获得待测物质组成的定性与定量信息。

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