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LIBS-Laser-Induced Breakdown Spectroscopy激光诱导击穿光谱检测仪器一直藏身在科研实验室中，被公共了解，可能就是因为近期中国的火星车上搭载了LIBS载荷
。LIBS技术是应用激光聚焦在物质外貌通过岑岭值功率（>GW/cm2）激光将物质引发至等离子体状态，通过等离子体发射光谱剖析物质身分和含量，LIBS技术目前已在合金、矿石、质料、农业、生物等领域广泛应用
。

激光诱导击穿光谱（LIBS）技术可实现样品微区的原位、定量和全元素剖析，是未知物质化学身分检测的重要手段，广泛应用于地质科学、质料科学、生物医学等领域
？占淝諰IBS成像技术由于揭示了样品中的元素漫衍而引起了越来越多的关注
。

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???????????????????北京彩神8争霸登录LIBS仪器整机

在LIBS成像研究领域，微量样品的化学剖析要求其空间区分率抵达微米级甚至亚微米级，并对系统的稳定性提出了更高的要求
。也对激光器的参数性能要求提出了更高的要求
。

近期山东理工大学修俊山老师团队，在Spectrochimica期刊上宣布了题为“Rapid micro-analysis of Al-In-Sn-O thin film using laser induced breakdown spectroscopy with picosecond laser pulses”的论文，运用显微LIBS技术通过对Al-In-Sn-O薄膜在差别制备工艺参数下元素含量的评测，进而评估光电薄膜性能的论文
。论文中使用了北京彩神8争霸登录MCD系列的350ps脉宽微片激光器，获得了区分率横向小于50μm，薄膜厚度区分率亚微米级别区分效果
。

Reallight-350ps脉宽薄膜烧蚀光斑

10ns脉宽激光烧蚀光斑

睿光亚纳秒微片激光器具有亚纳秒量级脉宽，光束质量高（M²<1.2），在百uJ量级单脉冲能量下,很容易聚焦成μm标准光斑，实现>10GW/cm²的功率密度
。激光器重频高，脉冲可以精确控制同步，可实现单脉冲引发控制，激光器尺寸小，集成度高，很是适合在显微LIBS领域使用
。

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参考文献

• Shiming Liu, Qing Gao, Junshan Xiu?, Zhao Li, Yunyan Liu，Spectrochimica Acta Part B?【J】，160（2019）105684
  。
• 黄伟华，贺春光，赵维谦＊＊，邱丽荣＊，光学学报【J】，第40卷 第24期 2020年12月
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