亚纳秒激光器应用于硬脆质料微加工
2022-04-28
非金属硬脆质料包括种种宝石、玻璃、硅晶体、石英晶体、陶瓷、稀土磁材等，这些质料大多为非导电体或半导体，通常具有高硬度、高脆性、高耐磨性、高抗蚀性、高抗氧化性、耐高温等性能。由于非金属硬脆质料具有许多金属质料难以相比的优良特性，其应用规模已从古板的建筑业、工艺品制造业逐步扩展到航天、机械、汽车、电子、化工等领域。非金属硬脆质料应用领域的不绝拓宽和对其进行加工时的低效率、高本钱的矛盾正日益突出，导致目前古板的加工要领并不可适应诸多工业需求。激光的能量密度高达108~1010W/cm2，直接作用于非金属硬脆质料局部外貌，爆发的瞬时能量爆发高温融化质料或直接破坏质料的分子键。与古板加工方法相比，效率提升8~20倍，节省质料20%~30%，可以大大降低生产本钱，提升加工精度和产品质量，还具有能缩短生产周期、可进行选择性加工和精密加工等优点。
古板的硬脆质料加工所用的激光器为纳秒激光器，脉宽普遍在5ns以上，体积庞大，对情况要求高，稳定性差，且热效应较大，关于许多质料的加工效果并不睬想。别的，皮秒、飞秒激光器在微加工性能虽然较好，但价格腾贵，体积庞大。
高功率、高重频的亚纳秒激光器是一类高性价比的准超快激光器，兼具皮秒激光器的加工精度和普通纳秒激光器的价格优势，在精密微加工领域有着辽阔的应用前景，倍受工业客户的青睐。
硬脆质料微加工通常由激光器、CCD相机，激光准直聚焦及成像光学系统、振镜控制系统或多维移动旋转平台、输入/输出控制 ？椤⑴趟慊翱刂迫砑组成。利用激光高能量特性，通过光子与质料的相互作用实现对证料的打标、打孔、划线、切割、内雕等加工 ；因其具有高效率、高精度、非接触式等优点，广泛应用于微电子、微机械和微光学加工等领域。
硬脆质料凭据质料应用种类，可大致分为：半导体质料微加工、陶瓷质料微加工、钻石及宝石打标与划线、透明质料微加工（钢化玻璃，蓝宝石玻璃等）、薄膜类质料消融、透明导电氧化物及电介质消融等。凭据加工类型和行业模型，可按如下项目分类：
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●?可提供多波长、多类别激光器：产品涉及MC系列被动调Q亚纳秒微片激光器和AQ系列主动调Q窄脉宽激光器，波长1064nm、532nm、355nm、266nm，脉宽300ps~2ns可 ；
